COHERENT準分子激光器LEAP 50A

LEAP 準分子激光器集高占空比輸出、高可靠性和低擁有成本于一身。這使它們成為各種高要求、高產(chǎn)能、高精度微處理任務(wù)的適配光源，從顯示器制造到超導(dǎo)磁帶的卷對卷制造，不一而足。LEAP 激光器的波長為 193 nm、248 nm 或 308 nm，輸出功率高達 600 W（脈沖能量高達 1.25 J）。這種功率采用緊湊型封裝，易于集成到工具或其他生產(chǎn)設(shè)備中。

緊湊型工業(yè)設(shè)計，易于集成

按需脈沖，實現(xiàn)低成本高工作效率的激光升/降

高激光能量，用于快速大面積加工

以太網(wǎng)接口，用于控制和快速數(shù)據(jù)采集

193 nm、248 nm 和 308 nm 波長，可對多種材料進行優(yōu)化加工

產(chǎn)地：美國

波長：193 nm

穩(wěn)定能量范圍：200 至 250 mJ

Max 重復(fù)頻率：200 Hz

Max穩(wěn)定平均功率：50 W

1 sigma 能量穩(wěn)定性：≤ 2 %

脈沖持續(xù)時間（FWHM）典型值︰18 ns

光束尺寸（V x H，F(xiàn)WHM）典型值︰25 x 13 mm²

發(fā)散（V x H，F(xiàn)WHM）︰≤4.5 x ≤1.5 mrad²

Max穩(wěn)定能量下的動態(tài)氣體壽命：20 百萬脈沖

電氣：3 相，200/208 或 400 VAC，50/60 Hz

水冷：8 至 20 升/分鐘；T=18 至 21 ℃

重量：860 kg（1896 磅）

機柜尺寸 (長x寬x高)：2415 x 800 x (1090 ±10) mm；95.1 x 31.4 x (42.9 ±0.4) in

LLO - 激光剝離（OLED 和 MicroLED）、PLD - 脈沖激光沉積、LDP - 激光直接圖案化、微結(jié)構(gòu)、LIFT - 激光誘導(dǎo)正向轉(zhuǎn)移（MicroLED）