SIERRA流量計SmartTrak 50系列

SmartTrak 50系列經過優(yōu)化，具有長期過程控制應用所需的穩(wěn)定性、可靠性和操作簡單性，以經濟的價格提供高精度和可靠的氣體質量流量控制。max流量范圍從50 slpm增加到200slpm。這使得它非常適合控制晶圓清潔和拋光操作中使用的載氣，或PVD和其他半導體操作中的吹掃控制。它還擅長一般應用中常見氣體的質量流量控制。模擬和數字輸入和輸出均可用，使 50系列能夠與較舊的模擬系統(tǒng)或新的多點數字工具一起使用。零位和跨度的現場調整使校準中的小調整能夠與現場過程保持一致條件。

• 控制氣體質量流量至 200 slpm (nlpm)
• 針對長期過程控制優(yōu)化的穩(wěn)定性和可靠性
• 非常適合控制晶圓清潔和拋光操作中使用的載氣
• 廣泛用于物理氣相沉積 (PVD) 和其他半導體工藝應用的腔室吹掃操作
• 精度：普通氣體（空氣、Ar、CO2、CO、CH4、He、H2、O2、N2）的 +/- 1.0% 滿量程
• 重復性：+/- 0.25% 滿量程
• 先進的 316L SS 鉑傳感器技術和專利 LFE 提供良好的線性性能
• 鋁或 316 SS 流動體，帶 Viton 彈性體
• 帶有可選模擬設定值/輸出信號的本地顯示和數字設定值控制
• RS-232 與 PLC 或工作站輕松連接（提供用戶軟件）
• 現場可調零位和跨度
• RS-485（可尋址）支持在復雜半導體工具內聯(lián)網
• 強大的直動式控制閥可max限度地減少泄漏

• 精度：滿量程的 +/- 1.0%，包括在 32° 至 122°F（0° 至 50°C）和 5 至 145 psig（0.3 至 10 barg）的校準條件下的線性度，適用于常見氣體：空氣、Ar、CO2 、CO、CH4、He、H2、O2、N2。
• 重復性：+/- 0.25% of full scale
• 溫度系數：0.025% of full scale per°F（0. 05% of full scale per °C）或更好
• 壓力系數：0.01%of full scale per psi（0.15% of full scale per bar）或更好
• 響應時間：2 秒（典型值）到終值的 +/- 2% 以內，包括設置時間。50系列可調整為更快或更慢（咨詢工廠）